mems文翻译mems

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1、即mems mems(英文：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS)是微电子技术与机械工程相结合的工业技术，其工作范围在微米级。一种比它小的类似技术，在纳米范围内，叫做纳米机电系统。

2、微电子机械系统(MEMS)是一种先进的制造技术平台。它是在半导体制造技术的基础上发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、刻蚀、薄膜等一系列现有技术和材料，所以MEMS中的基础制造技术从制造技术本身来说是成熟的。但MEMS更侧重于超精密加工，涉及微电子、材料、机械、化学、力学等多个学科。它的主题领域也已经扩展到物理学的各个分支，例如力、电、光、磁、声、表面等。在微观层面上。

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